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本技術提供一種抽氣組件及工藝腔室，抽氣組件包括設置在腔體內且呈環形的內襯結構和擋板結構，內襯結構環繞基座設置并與腔體的腔壁之間構成抽氣通道；內襯結構的側壁具有多個第一抽氣孔和多個第二抽氣孔；基座位于工藝位時，多個第一抽氣孔位于基座承載面上方...該專利屬于北京北方華創微電子裝備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京北方華創微電子裝備有限公司授權不得商用。
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