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本發明公開了一種用于DSR的靜電MEMS揚聲器及其制造方法，包括聲音重建發生組件和驅動組件，所述驅動組件安裝在所述聲音重建發生組件的一側，所述聲音重建發生組件與所述驅動組件電信號連接；所述聲音重建發生組件包括由下至上依次設置的襯底、埋氧層、...
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