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    下載一種高熱導(dǎo)率氮化硅基板及其制備方法的技術(shù)資料

    文檔序號:44449069

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    本發(fā)明提供了一種高熱導(dǎo)率氮化硅基板及其制備方法,所述制備方法采用成本較低的硅粉作為原料,具體采用納米硅粉、納米氧化鎂、納米氧化釔和納米氧化鈦?zhàn)鳛樵希瑥亩行Ы档土说杌宓闹苽涑杀荆瑢⒌玫降臐{料依次進(jìn)行流延成型、烘干、排膠,得到的薄板生...
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