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本申請公開了一種對單晶粒的Pattern測試方法及裝置、設備、介質，涉及晶圓測試技術領域。方法包括：當待測晶圓中單個待測的第一晶粒的第一待測容量大于預設容量閾值，獲取當前的第一傳參文件；第一傳參文件包括：第一算法選擇信息和預設差值；根據第一...該專利屬于深圳市晶存科技股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過深圳市晶存科技股份有限公司授權不得商用。
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本申請公開了一種對單晶粒的Pattern測試方法及裝置、設備、介質，涉及晶圓測試技術領域。方法包括：當待測晶圓中單個待測的第一晶粒的第一待測容量大于預設容量閾值，獲取當前的第一傳參文件；第一傳參文件包括：第一算法選擇信息和預設差值；根據第一...