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本發明公開了一種真空吸嘴、鍵合頭和鍵合方法。該真空吸嘴包括：本體，其內部包括第一腔體，以及環繞所述第一腔體的第二腔體，其中，所述第一腔體內通入正壓，所述第二腔體內通入負壓；以及蒙皮，位于與所述第一腔體和所述第二腔體連通的所述本體的上表面，且...該專利屬于拓荊鍵科（海寧）半導體設備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過拓荊鍵科（海寧）半導體設備有限公司授權不得商用。
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