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本發明公開了一種半導體基板清潔裝置，主要涉及半導體基板清洗技術領域；包括清潔頭以及用于鎖定半導體基板的工作臺，所述工作臺的底部設有旋轉軸，所述清潔頭的外壁上設有連接件，連接件上設有至少一個折彎部，所述連接件遠離清潔頭的一端水平布置，且在連接...
該專利屬于山東華宇工學院所有，僅供學習研究參考，未經過山東華宇工學院授權不得商用。

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