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本發(fā)明公開了一種用于MEMS濕敏器件的測(cè)試與校準(zhǔn)的變壓調(diào)濕裝置和方法，所述裝置包括氣源、第一背壓式調(diào)壓閥、飽和器、恒溫系統(tǒng)及水路、第二背壓式調(diào)壓閥、質(zhì)量流量控制器；來自氣源的氣體經(jīng)過第一背壓式調(diào)壓閥進(jìn)入飽和器，再經(jīng)過第二背壓式調(diào)壓閥進(jìn)入ME...該專利屬于中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所授權(quán)不得商用。