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本發明公開了一種片上集成激光源及其制備方法。該片上摻鉺激光源采用摻雜有稀土離子的氧化鉭作為增益介質層，將未摻雜稀土離子的氧化鉭作為波導層沉積到增益介質層上形成雙層薄膜結構后，在未摻雜層設計和制備出歐拉彎曲的微環諧振腔結構，相對于常規的在稀土...該專利屬于中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所授權不得商用。
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本發明公開了一種片上集成激光源及其制備方法。該片上摻鉺激光源采用摻雜有稀土離子的氧化鉭作為增益介質層，將未摻雜稀土離子的氧化鉭作為波導層沉積到增益介質層上形成雙層薄膜結構后，在未摻雜層設計和制備出歐拉彎曲的微環諧振腔結構，相對于常規的在稀土...