溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明公開了一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，包括底座，底座頂部側壁可拆卸式連接有爐體，底座內部開設有底槽，底槽內頂部側壁放置有氣罐，氣罐靠近定端的一側側壁可拆卸式連接有承接板，承接板頂部且遠離氣罐的一側側壁可拆卸式連接有泵箱，泵箱頂部側...該專利屬于蘇州步科斯新材料科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過蘇州步科斯新材料科技有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明公開了一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，包括底座，底座頂部側壁可拆卸式連接有爐體，底座內部開設有底槽，底槽內頂部側壁放置有氣罐，氣罐靠近定端的一側側壁可拆卸式連接有承接板，承接板頂部且遠離氣罐的一側側壁可拆卸式連接有泵箱，泵箱頂部側...