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本發明提供一種改善了測定范圍內的膜厚分布的精度的膜厚信號處理裝置、研磨裝置及膜厚信號處理方法。膜厚信號處理裝置具有接收部和校正部。接收部接收從電渦流傳感器輸出的傳感器數據來生成第一膜厚數據(168)和第二膜厚數據(172)。校正部校正由接收...
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