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本發明公開一種抑制Micro?LED鍵合過程中翹曲的薄膜結構及其制備方法，涉及顯示封裝技術領域。所述薄膜結構包括：在芯片和基板的鍵合過程中，將目標材料薄膜沉積在藍寶石襯底和Si基板的背面；所述目標材料薄膜的熱膨脹系數介于藍寶石和Si之間。本...
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