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    下載一種用于脫膠插片清洗一體機的分片傳輸工裝的技術資料

    文檔序號:44476532

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    本技術提供一種用于脫膠插片清洗一體機的分片傳輸工裝,用于硅片生產技術領域;包括側噴組件,側噴組件包括噴頭,噴頭的噴嘴截面沿液體噴出方向逐漸減小,噴嘴密集均勻設置有若干噴孔;噴頭包括沿硅片的傳輸方向設置的下側噴和上側噴;下側噴的噴孔孔道長度小...
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