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本申請公開了一種探針臺，探針臺包括機(jī)架、支撐臺、真空室、工件支撐裝置、閉式循環(huán)制冷機(jī)、探針臂裝置，以及工件檢測裝置；探針臂裝置包括檢測探針機(jī)構(gòu)、探針驅(qū)動機(jī)構(gòu)，以及探針定位機(jī)構(gòu)；閉式循環(huán)制冷機(jī)包括制冷配重機(jī)構(gòu)、制冷支架、制冷機(jī)本體、第一制冷頭...該專利屬于上海柯舜科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過上海柯舜科技有限公司授權(quán)不得商用。