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本發明公開了一種應急加熱裝置及半導體設備，加熱目標由加熱源直接加熱或應急加熱裝置輔助加熱，應急加熱裝置包括加熱包和電磁裝置，加熱包與加熱源或加熱目標表面接觸，加熱包中包含加熱物質，加熱物質接觸氧氣會產生熱量，電磁裝置被安裝于加熱包的一側，加...
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