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本發(fā)明提供一種晶舟結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體熱處理設(shè)備及其控制方法。其中，晶舟結(jié)構(gòu)包括：固定支架，具有固定支撐部；調(diào)節(jié)機構(gòu)，設(shè)置在固定支架上，調(diào)節(jié)機構(gòu)具有多個可移動的輔助支撐部，調(diào)節(jié)機構(gòu)具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，在調(diào)節(jié)機構(gòu)處于第一狀態(tài)，至少兩個輔助支撐部移...該專利屬于北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司授權(quán)不得商用。