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本發明公開了飛秒激光結合離子注入室溫下制備介電晶體表面周期性結構的方法，屬于集成光學技術領域。本發明利用金屬離子對介電晶體表面進行轟擊，形成注入層；將飛秒激光聚焦于所述介電晶體的注入層表面，降低所述介電晶體的位置，通過移動介電晶體的位置在注...
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