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本發明提供一種多波長相位調制掃描量測系統及方法，其中，系統通過輻射源產生的多波長光束，經過第一光學系統的分束和相位調制后，分別照射到目標結構上。由于不同波長的光束對目標結構的響應不同，因此可以通過調整相位差來優化測量效果。散射光束在成像檢測...該專利屬于蘇州勵索精密裝備科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過蘇州勵索精密裝備科技有限公司授權不得商用。
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