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本公開實施例提供了一種用于最終拋光的拋光頭、拋光設備和成品晶圓，所述拋光頭包括：吸附環，所述吸附環用于吸附在待拋光的晶圓的環形倒角區域上；以及多個連接元件，每個連接元件均是可動的，并且所述多個連接元件與所述吸附環連接以保持被所述吸附環吸附的...該專利屬于西安奕斯偉材料科技股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過西安奕斯偉材料科技股份有限公司授權不得商用。
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