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    下載基于結(jié)構(gòu)化表面拋光工具的非接觸式拋光裝置及拋光方法的技術(shù)資料

    文檔序號:44495052

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    本發(fā)明公開了基于結(jié)構(gòu)化表面拋光工具的非接觸式拋光裝置,包括工作平臺;工作平臺上對應(yīng)設(shè)有工件夾持驅(qū)動組件和拋光液增壓組件;拋光液增壓組件包括對應(yīng)設(shè)于工件夾具下方的結(jié)構(gòu)化表面拋光工具;結(jié)構(gòu)化表面拋光工具為槽型結(jié)構(gòu),其底部呈外高內(nèi)低的錐面狀,且錐...
    該專利屬于浙江工業(yè)大學(xué)所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過浙江工業(yè)大學(xué)授權(quán)不得商用。

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