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本發明涉及碳化硅材料制造設備傳輸領域，特別地涉及一種管道對接裝置，包括：反應箱，設于位移軌道上，且能夠沿位移軌道的長度方向移動；反應箱包括出氣通道和多個進氣通道，出氣通道和多個進氣通道分別設于所述反應箱的兩側；罩殼，設于位移軌道的上方，且與...該專利屬于蘇州精材半導體科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過蘇州精材半導體科技有限公司授權不得商用。
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