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本發(fā)明提供一種光致抗蝕劑組合物及其制備方法和應用。所述光致抗蝕劑組合物包括如下組分：(a)多功能單體、(b)樹脂聚合物、(c)助劑、(d)光引發(fā)劑、(e)溶劑；其中(b)多功能聚合官能團單體，包括化合物A1?化合物A6中的至少一種。本發(fā)明通...該專利屬于阜陽欣奕華新材料科技股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過阜陽欣奕華新材料科技股份有限公司授權不得商用。