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本發明提供一種單波長光束測厚參考數據庫建立方法、測量方法及設備，所述參考數據庫建立方法包括：獲取晶圓薄膜在不同厚度下的反射率，其中厚度為給定值，相應的反射率是通過數學模型計算出的值，所述反射率是晶圓薄膜對特定波長光的反射率，所述反射率隨著厚...該專利屬于北京特思迪半導體設備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京特思迪半導體設備有限公司授權不得商用。
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