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本發明提供一種含氟芳香酸配體修飾的鋯金屬氧化物納米簇光刻膠材料及其制備方法與應用。本發明含氟芳香酸配體修飾的鋯金屬氧化物納米簇光刻膠材料的制備方法包括步驟：將Zr6O4(OH)4(MAA)12溶液和含氟芳香酸配體化合物溶液混合，經反應，旋蒸...
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