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本申請(qǐng)屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種SAW基于MEMS表面聲學(xué)氣體傳感器及其制備方法，包括壓電基片，所述壓電基片上設(shè)置有兩個(gè)反射格柵，兩個(gè)反射格柵之間形成諧振腔區(qū)域，所述諧振腔區(qū)域內(nèi)設(shè)置有叉指換能器IDT和敏感膜。本申請(qǐng)的氣體傳感器，通過壓...該專利屬于威海精訊暢通電子科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過威海精訊暢通電子科技有限公司授權(quán)不得商用。