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本發明提供一種基板處理方法和基板處理系統，將在接受了濕法處理的基板的表面堆有有機溶劑的狀態的基板從濕法處理裝置搬送至超臨界處理裝置，并使用超臨界狀態的處理流體使基板干燥，實現減少處理流體的消耗量且降低環境負擔的同時提供產量。本發明的基板處理...
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