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本技術的各種實施例可以提供氣體管線矩陣和互換組件。其中互換組件包括第一多個氣體管線，其中每個氣體管線包括第一端和第二端，并且其中第一多個氣體管線的第一端在第一軸線上對準，第一多個氣體管線的第二端在第二軸線上對準，并且第一軸線垂直于第二軸線。...該專利屬于ASMIP私人控股有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過ASMIP私人控股有限公司授權不得商用。
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