溫馨提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明公開一種原位真空制備系統(tǒng)及憶阻器的制備方法，屬于電子器件制造技術(shù)領(lǐng)域；一種原位真空制備系統(tǒng)包括手套箱，手套箱的一側(cè)連接有真空集聯(lián)管道，真空集聯(lián)管道中分別能進(jìn)行：絕緣材料熱蒸發(fā)、金屬材料熱蒸發(fā)、反應(yīng)離子刻蝕、離子束刻蝕、電子束蒸發(fā)以及磁...該專利屬于安徽大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過安徽大學(xué)授權(quán)不得商用。