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本申請?zhí)岢隽艘环N低成本異質(zhì)結(jié)電池組件的制備方法及系統(tǒng)，該方法包括：以維持異質(zhì)結(jié)電池的良品率和轉(zhuǎn)換效率為約束條件，通過優(yōu)化后的切片工藝制備厚度小于預(yù)設(shè)厚度閾值的大尺寸超薄N型硅片；在硅片上沉積靶材優(yōu)化后的透明導(dǎo)電薄膜TCO，其中，靶材材料優(yōu)化...該專利屬于中國華能集團清潔能源技術(shù)研究院有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國華能集團清潔能源技術(shù)研究院有限公司授權(quán)不得商用。