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本發明公開了一種碳摻雜的氮化鉿納米晶膜，其化學式為HfC<subgt;x</subgt;N<subgt;1?x</subgt;；其中，x取值為0.09～0.1。本發明還公開了上述碳摻雜的氮化鉿納米晶膜的制備方法，采用...
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