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一種高功率激光系統的光束指向穩定性控制系統，通過激光發射器、透鏡、位置靈敏探測器（PSD）、微機電系統快速反射鏡（MEMS快反鏡）及數據處理單元，確保激光光束在面臨環境震動等外部干擾時仍能保持穩定指向；利用PSD捕捉激光光斑位置信息，經數據...該專利屬于中國科學院上海光學精密機械研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院上海光學精密機械研究所授權不得商用。
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一種高功率激光系統的光束指向穩定性控制系統，通過激光發射器、透鏡、位置靈敏探測器（PSD）、微機電系統快速反射鏡（MEMS快反鏡）及數據處理單元，確保激光光束在面臨環境震動等外部干擾時仍能保持穩定指向；利用PSD捕捉激光光斑位置信息，經數據...