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本申請公開一種半導體工藝設(shè)備及其密封門機構(gòu)，屬于半導體技術(shù)領(lǐng)域。密封門機構(gòu)用于密封半導體工藝設(shè)備的工藝腔室的第一開口，密封門機構(gòu)包括密封盤、密封件以及隔離墊，密封盤用于封閉工藝腔室的第一開口，隔熱板設(shè)置于密封盤的上表面，密封盤與隔熱板之間設(shè)...該專利屬于北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司授權(quán)不得商用。