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本發(fā)明公開了一種曲面微結(jié)構(gòu)激光?等離子體復(fù)合加工裝置及方法,屬于特種加工技術(shù)領(lǐng)域,包括:等離子體電源、供氣系統(tǒng)、等離子體發(fā)生器、噴嘴組件、激光單元、多軸移動單元、真空夾具、伺服控制系統(tǒng)、控制面板、機床床身,結(jié)合各軸的聯(lián)動與插補運動,可實現(xiàn)曲...該專利屬于長春理工大學(xué)所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過長春理工大學(xué)授權(quán)不得商用。