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本發明公開了一種基于擴散模型的軟傳感器技術數據生成方法和系統，屬于軟傳感器技術數據生成領域。收集晶圓制造過程中的數據作為訓練集，包括半導體關鍵制造步驟的過程數據和量測數據；利用訓練集迭代訓練回歸增強擴散模型；在迭代訓練過程中，每完成一輪訓練...
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