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一種分軸級(jí)臺(tái)結(jié)構(gòu)被實(shí)施成多級(jí)式定位系統(tǒng)(10)，其能夠在高速與加速度下以振動(dòng)方式且熱穩(wěn)定地運(yùn)送材質(zhì)。分軸設(shè)計(jì)能夠解耦沿著兩條位于分開(kāi)、平行平面中的垂直軸線的級(jí)臺(tái)運(yùn)動(dòng)。具有花崗石、石板、陶瓷材料或鑄鐵材料板片的尺寸穩(wěn)定的基材(12)被用作為下...該專(zhuān)利屬于伊雷克托科學(xué)工業(yè)股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)伊雷克托科學(xué)工業(yè)股份有限公司授權(quán)不得商用。