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本發明涉及一種氫化硅薄膜彈性模量的判別方法，其特征是用拉曼光譜對所制備的氫化硅薄膜進行了微觀結構分析，用晶態比來表征薄膜晶態組分和非晶界面組分體系，由晶態比與彈性模量一一對應的關系，可以對彈性模量值進行判別。本發明方法操作簡便，對薄膜本身沒...
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