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本實(shí)用新型公開了一種直拉硅單晶檢測(cè)用測(cè)量道的制作裝置，包括水平固定在工作平臺(tái)上且用于固定被檢測(cè)硅單晶的U形槽和與U形槽相配合使用且在被檢測(cè)硅單晶的晶體表面打磨測(cè)量道的打磨工具，被檢測(cè)硅單晶為采用直拉法生產(chǎn)的單晶硅棒材；打磨工具包括傳動(dòng)軸、固...該專利屬于西安華晶電子技術(shù)股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過西安華晶電子技術(shù)股份有限公司授權(quán)不得商用。