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面向微結構制造具有力反饋控制的微探針刻劃加工方法。本發明屬于微納結構加工技術領域。本發明可以實現低成本、高精度、微米尺度溝槽等復雜微結構的加工。方法是：先將工件放置于X-Y向精密工作臺上，根據所設定的力初值，簡稱設定值，使微探針刀具自動逼近...
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