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    下載用于半導體器件制造的基板結構及其制造方法的技術資料

    文檔序號:7620947

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    本發明提出一種基板結構及其制造方法。該基板結構包括:基板陣列,所述基板陣列包括按照預定方向排列在同一平面上的多個基板,每個所述基板具有第一表面和與之相對的第二表面,所述基板陣列排列在與所述基板第一表面平行的平面上;多個基片,其連接所述相鄰基...
    該專利屬于朱慧瓏;駱志炯;尹海洲所有,僅供學習研究參考,未經過朱慧瓏;駱志炯;尹海洲授權不得商用。

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