溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本實用新型涉及一種LPCVD工藝中的防污染系統，具體地講是涉及一種LPCVD工藝中金屬波紋管的防污染系統。該系統包括設于滾輪傳動軸上用于實現滾輪軸向伸縮運動功能的金屬波紋管和位于反應腔室側壁上使滾輪傳動軸得以穿過的通孔，通孔上靠近反應腔室內...
該專利屬于漢能科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過漢能科技有限公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。