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本發明公開了一種硼擴散用爐管的清洗方法。該方法包括以下步驟：1）按體積比75:1~1:1向硼擴散用爐管中通入氮氣和攜源氮氣，持續30分鐘以上，其中，攜源氮氣中攜帶有純水蒸氣；2）停止通入氮氣和攜源氮氣，完成清洗。應用本發明的技術方案，在不改...
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