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    下載具有亞微米級間隙的高效電荷轉移寄存器及其制備工藝的技術資料

    文檔序號:8684179

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    本發明公開了一種具有亞微米級間隙的高效電荷轉移單元及其制備工藝,該高效電荷轉移寄存器由至少兩個高效電荷轉移單元串聯而成,該高效電荷轉移單元設計采用了四相結構,各相之間的間隙為亞微米級,這種亞微米級的間隙能保證電荷轉移單元高效的進行電荷轉移。...
    該專利屬于南京理工大學所有,僅供學習研究參考,未經過南京理工大學授權不得商用。

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