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等離子體氣相薄膜沉積設(shè)備的附屬前端模塊，主要解決現(xiàn)有附屬前端模塊存在的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、工作效率低及生產(chǎn)成本高的問題。它包括干燥腔，上蓋板，加熱燈及晶圓支架四個部分。其中上蓋板和加熱燈為標(biāo)準(zhǔn)件連接的一體機構(gòu)，通過螺栓固定在干燥腔上，干燥腔作為前端模...該專利屬于沈陽拓荊科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過沈陽拓荊科技有限公司授權(quán)不得商用。