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本發(fā)明公開一種提取半導(dǎo)體器件柵介質(zhì)層陷阱時間常數(shù)的方法，屬于微電子器件可靠性領(lǐng)域。該方法首先初始化半導(dǎo)體器件中陷阱狀態(tài)，使得陷阱最終狀態(tài)為空狀態(tài)；然后柵端施加DC信號或AC信號，漏端為零偏壓Vd1，在經(jīng)過一段時間t1后，在柵端、漏端上分別施...該專利屬于北京大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過北京大學(xué)授權(quán)不得商用。