一種疊加計量系統可包含物鏡、用以照明疊加目標的照明光學器件，所述疊加目標包含在第一樣本層上的具有第一節距的第一光柵及在第二樣本層上的具有第二節距的第二光柵，其中所述第一樣本層與所述第二樣本層分離達大于所述物鏡的景深的層分離距離。所述系統...

公開一種用于產生包含具有呈反轉順序的結構的單元的重疊目標的重疊測量的重疊計量系統及方法。所述重疊計量系統可包含照明子系統及集光子系統。所述集光子系統可包含用以收集來自樣本的測量光的一或多個檢測器。根據計量配方，所述樣本可包含具有第一單元...

本發明提供用于檢驗樣品的方法及系統。一種系統包含檢驗子系統，其經配置用于將光引導到所述樣品上的區域且用于響應于來自所述樣品上的所述區域的光而產生輸出。所述系統還包含第一氣流子系統，其經配置用于用與圍繞所述樣品上的所述區域的第一局部體積中...

本發明公開一種用于利用例如光學子系統的第二子系統產生計量測量的系統及方法。所述方法可包含執行訓練及運行時間操作。所述訓練可包含：接收來自第一計量子系統(例如光學)的用于裝置特征的第一計量數據；產生第一計量測量(例如關鍵尺寸等)；基于所述...

本發明公開用于獲取接合樣本的結構的測量的系統及方法。此類系統及方法可包含在將第一樣本及第二樣本耦合在一起之前確定所述第一樣本的第一配準結構與第一界面目標結構的第一配準測量及所述第二樣本的第二配準測量。此類系統及方法可包含在所述樣本的此耦...

一種計量系統可包含：光學計量子系統，其用于基于與至少一個光學節距相關聯的光學計量目標的特征來產生光學計量的光學計量測量；及額外計量子系統，其用于產生所述光學計量目標的額外計量測量，其中所述額外計量測量具有高于所述光學計量測量的分辨率，且...

本文中呈現用于實現具有高定位準確度的高通量晶片定位系統的方法及系統。高通量、高準確度晶片定位系統用于測量與不同半導體制造過程相關聯的結構及材料特性(例如材料組成、結構及膜的尺寸特性等等)。在一個方面中，鐵芯線性電機組合件依磁對置配置布置...

一種用于掩模設計修補的系統可開發在用于制造樣本上的特征的一或多個工藝步驟后的層厚度的基于模擬的模型，開發制造工藝的變換模型，所述變換模型模仿所述基于模擬的模型且具有比所述基于模擬的模型更快的評估速度，且其中到所述變換模型的輸入包含輸入掩...

通過用于圖像間轉譯的深度卷積神經網絡基于設計文件來確定裸片的參考光學圖像。從目標圖像減除所述參考光學圖像，借此產生差異圖像。在應用關照區域掩模之后，所述差異圖像可經二值化。所得經二值化缺陷圖像可用于光學檢驗。

公開一種在單個單元中具有多個方向上的節距的疊加計量系統。根據計量配方，疊加目標可包含在所述樣本的單元的兩個或更多個層上的多層結構。所述多層結構可包含每一層中的結構，所述結構在一或多個周期性方向上具有一或多個節距。所述多層結構可包含具有第...

提供用于檢測樣品上的缺陷的方法及系統。一種方法包含分別針對檢驗子系統的第一及第二模式產生樣品的第一及第二模式測試、參考及差異圖像。所述方法還包含組合所述第一及第二模式測試圖像、所述第一及第二模式參考圖像及所述第一及第二模式差異圖像作為用...

本發明公開一種用于光學系統的升降器組合件，其包含具有卡盤底座及可拆卸頂板的卡盤，其中所述可拆卸頂板是經配置以支撐襯底的多個可更換的可拆卸頂板中的一者。所述升降器組合件還包含可移動板以將所述卡盤支撐于所述可移動板的上表面上，所述可移動板可...

一種馬賽克疊對目標可包含跨樣本分布的兩個或更多個單元組，其中每一單元組包含一或多個單元，其中每一單元組經定向以具有相對于所述馬賽克疊對目標的中心軸的鏡像對稱性或相對于所述馬賽克疊對目標的中心點的旋轉對稱性中的至少一者。所述單元組可根據度...

一種疊加計量目標可包含光柵上覆光柵結構，其由第一樣本層中的具有第一粗間距的下光柵結構及第二樣本層中的具有第二粗間距的上光柵結構形成，其中所述上光柵結構及所述下光柵結構在所述樣本上重疊。所述上光柵結構或所述下光柵結構中的至少一者可包含具有...

測量晶片傾斜并基于從跨越晶片的一組高度測量導出的經校正傾斜測量來補償所述晶片傾斜。由測量系統在大數目的晶片位點處產生一組晶片定向校正值。在每一位點處，基于由光學傾斜傳感器測量的校準晶片的局部晶片傾斜與從Z測量導出的所述校準晶片的局部斜率...

利用等離子體超模型基于等離子體處理狀況而確定晶片的表面處的等離子體參數。可利用特征縮放輪廓模型來預測所述晶片的所述表面的后處理輪廓。如果所述后處理輪廓在實驗參考的收斂準則之外，那么可重新校準所述等離子體超模型中的相關性。

位于本地的自動對焦傳感器陣列提供對所述陣列中的每一顯微鏡柱與在下面成像的襯底之間的工作距離的直接測量。所述自動對焦傳感器在其在所述成像襯底上待成像的一點上方通過時測量每一柱與所述襯底之間的所述工作距離。將來自所述傳感器的所述工作距離測量...

一種熱泵包含分成主殼容積及一或多個副容積的密封殼。熱泵包含軸。熱泵包含置換器，其耦合到所述軸且振蕩以產生高壓相與低壓相之間的壓力增益。熱泵包含一或多個置換器環，其中所述置換器環由具有低于閾值的熱性質的材料制成。熱泵包含嵌件，其中所述嵌件...

可確定來自檢驗圖像的表示機械振動及電磁干擾的參數?？苫赬方向偏移確定X方向振動頻譜。可基于Y方向偏移確定Y方向振動頻譜。所述確定可基于例如半導體晶片或光罩的工件的掃描帶圖像。

公開一種用于使用數字濾波器來增強光學表征系統中的缺陷檢測的系統。所述系統可包含控制器，所述控制器包含經配置以執行一組程序指令的一或多個處理器。所述一組程序指令可經配置以引起所述一或多個處理器：獲取一或多個樣本圖像，所述一或多個樣本圖像包...