本實用新型提供一種光刻機用上版夾具。所述一種光刻機用上版夾具包括定位器和控制系統，定位器一側與曝光平臺間隙配合，所述曝光平臺一側通過螺釘與不銹鋼支架固定連接，所述不銹鋼支架內表面通過螺釘與抽氣裝置固定連接，所述不銹鋼支架一側通過螺釘與處...

本實用新型公開了一種潔凈涂膠顯影裝置，包括涂膠顯影機，所述涂膠顯影機頂部安裝有FFU過濾單元，所述FFU過濾單元用于將空氣吸入、過濾后送入涂膠顯影機內。本實用新型采用FFU過濾單元，空氣經過FFU過濾單元凈化后送入到涂膠顯影機中，提高涂...

本發明公開了一種用于涂膠顯影設備的廢液收集系統，包括：廢液收集箱、儲液柜；廢液收集箱頂部設有第一進液口，廢液收集箱下部設有第一出液口，廢液收集箱外壁上設有第一液位計；儲液柜內固定連接水平隔板，水平隔板將儲液柜分隔為第一隔層、第二隔層；第...

本實用新型公開了一種光刻機的晶圓平邊預定位裝置，包括用于承載晶圓的工作平臺,所述工作平臺上設有第一固定定位輪、至少兩個的第二固定定位輪、所述第二固定定位輪用于定位晶圓的平邊，所述第一固定定位輪用于定位晶圓的弧形邊；所述工作平臺底部設有驅...

本實用新型提供一種接觸式光刻機吸盤。所述一種接觸式光刻機吸盤，包括吸盤A和吸盤體，吸盤A一側設置有銷軸孔，吸盤體一側設置銷軸孔，銷軸與銷軸孔軸向間隙配合，吸盤體一側與吸盤A間隙配合，吸盤體另一側與吸盤B間隙配合。本實用新型提供的一種接觸...

本實用新型公開了一種用于涂膠顯影設備的晶圓傳送手臂，包括手臂本體，還包括兩個與手臂本體滑動連接的調節座，所述調節座內設有真空通道，所述調節座上固定連接有球頭座，所述球頭座上固定連接有頂部、底部均為平面的球頭，所述球頭頂部固定連接有限位板...

本實用新型公開一種新型光刻機文字圖像分離顯示裝置，包括控制光刻機工作的主機，主機內部包含有輸出圖像畫面的CCU及輸出文字內容的VT284，CCU通過顯示器接口連接圖像顯示器，VT284通過顯示器接口連接文字顯示器。設計新穎，分設兩個顯示...

本發明公開了一種用于涂膠顯影設備的晶圓傳送手臂，包括手臂本體，還包括兩個與手臂本體滑動連接的調節座，所述調節座內設有真空通道，所述調節座上固定連接有球頭座，所述球頭座上固定連接有頂部、底部均為平面的球頭，所述球頭頂部固定連接有限位板，所...

本實用新型公開一種光刻機高精度襯底定位裝置，包括襯底、第一定位輪、第二定位輪，第一定位輪和第二定位輪均設置于襯底的圓周面；第一定位輪設置于9點鐘方向，第二定位輪設置于6點鐘方向，第二定位輪的對面安裝有定位動作輪機構，定位動作輪機構包含有...

本實用新型公開一種新型晶圓涂膠顯影裝置，包括內保護罩，內保護罩表面套接有軸心相同的外保護罩，外保護罩和內保護罩之間采用可拆分連接，外保護罩和內保護罩均適配4寸晶圓，內保護罩頂面開設的透孔內部設置有吸盤，吸盤的表面吸附晶圓，內保護罩的內壁...

本實用新型公開一種新型光刻機襯底定位裝置，包括襯底，襯底的底面設置有驅動控制器，襯底表面安裝有設定晶圓位置的定位傳感器，驅動控制器中心的空腔處設置有支撐軸，驅動控制器包含有X軸驅動電機、Y軸驅動電機、θ軸驅動電機，支撐軸頂部設置有吸附晶...

本實用新型公開一種涂膠顯影機晶圓定位裝置，包括臺面板，臺面板的中間通過動力傳輸裝置連接C/S手臂，臺面板的兩端均通過支撐座安裝有晶圓定位塊，C/S手臂側邊一體成型有通過動力傳輸裝置伸縮在片盒內拿取晶圓的載具，載具適配4寸晶圓，載具兩端設...

本實用新型公開了一種半導體生產線的節能裝置，包括箱體和活動箱16，所述箱體的左側貫穿有進氣管，進氣管的左端固定安裝有冷風外機，所述箱體內壁的兩側之間固定連接有過濾網，且箱體內壁的兩側之間位于過濾網的右側固定連接有消毒網，所述吸板的右側連...

本實用新型公開了一種半導體芯片制造設備，包括固定箱，所述固定箱內壁的一側固定連接有第一電機，并且第一電機的輸出軸固定連接有絲桿，所述絲桿的表面螺紋連接有套管，并且套管的表面固定連接有轉軸，所述轉軸的表面套設有螺紋桿，所述轉軸貫穿固定箱且...

本實用新型公開了一種芯片壓模設備，包括外框，所述外框內壁的底部固定連接有緩沖裝置，所述緩沖裝置的頂部固定連接有底框，所述底框內壁底部的兩側均固定連接有卡鎖裝置，所述外框的頂部固定連接有升降裝置，所述橫桿表面的兩側均滑動連接有滑動套，所述...

本實用新型公開了一種可調節晶圓定位組件,其包括：環形陣列布置于機臺的承載平臺上的四個定位塊(1)，所述定位塊表面設置有刻度結構(2)，所述機臺為曝光機臺和涂膠顯影機臺之間的Relay機臺，所述承載平臺環形陣列設置有四個與定位塊配合的矩形...

本實用新型公開了一種芯片自動封裝生產線，包括底座，所述底座的頂部固定連接有支撐腿，并且支撐腿的表面固定連接有擋塊,所述擋塊的頂部分別固定連接有結構尺寸檢測工位、電流檢測工位和電容檢測工位，所述擋塊的表面活動連接有滾軸，并且底座的頂部固定...

本實用新型提出一種基于視覺識別的晶圓缺陷自動檢測、挑選一體化裝置，包括晶圓視頻檢測裝置，晶圓挑選系統晶圓視頻檢測裝置，包括移動載片臺和視頻檢測裝置；晶圓挑選系統，包括挑選控制裝置、挑選機械手、晶圓傳送模塊，視頻檢測裝置包括視頻采集系統、...

本實用新型公開了一種新型涂膠顯影設備涂敷單元，其包括：下蓋，其結構適配于第一尺寸基片和第二尺寸基片；上蓋(1)和內蓋(2)，位于所述下蓋上方，其結構適配于第二尺寸基片；吸盤(3)，穿設所述下蓋、上蓋和內蓋，用于吸附基片；鐵盤，設置于所述...

本實用新型公開了一種電子生產設備環境監測裝置，包括生產車間本體，所述生產車間本體內壁的兩側之間固定連接有安裝梁板，所述安裝梁板頂部的一側通過連接塊固定連接有電機，電機輸出軸的一端通過聯軸器固定連接有絲桿，絲桿遠離電機的一端通過軸承與生產...