本發(fā)明揭示了一種在電鍍工藝期間用于保持基板的電鍍夾盤。基板包括缺口區(qū)域(3031)及鄰近缺口區(qū)域(3031)的圖形區(qū)域(3032)。電鍍夾盤包括蓋板(3033)，該蓋板(3033)被配置為遮蓋基板的缺口區(qū)域(3031)，當基板被電鍍時屏...

本發(fā)明揭示了一種用于在基板上沉積金屬的電鍍裝置。該電鍍裝置包括膜架(14)、陰極電解液進液管(30)和中心帽(40)。膜架(14)具有穿過膜架(14)中心的中心通道(144)。陰極電解液進液管(30)與膜架(14)的中心通道(144)相...